AMAT
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AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP Système
AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP Système
Manufacturer: AMAT
Product No.: 0010-54703
Product Type: Reflexion® LK CMP Système
Product Origin: USA
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Weight: 0g
Shipping port: Xiamen
Warranty: 12 months
AMAT 0010-54703 Reflexion® LK CMP Système
Présentation du produit
- Description : Le système Reflexion LK CMP d'Applied Materials est une plateforme de planéité chimique-mécanique (CMP) de 300 mm de premier plan, optimisée pour la performance et la productivité dans les applications CMP en trois étapes.
- Caractéristiques : intègre des technologies avancées de polissage, de nettoyage et de séchage. Comprend une plate-forme de polissage séquentiel unique à trois plateaux et un nettoyant Desica® post-CMP intégré avec la technologie de séchage à la vapeur Marangoni™ pour minimiser les défauts de filigrane et la contamination par les particules.
Spécifications techniques
- Plateforme : 300mm CMP
- Polissage : Polissage séquentiel à trois plateaux
- Nettoyage : Nettoyant Desica® post-CMP intégré
- Technologie de séchage : séchage à la vapeur Marangoni™
- Méthodes d'Endpoint : systèmes de contrôle d'endpoint et de profil in-situ FullVision® XE et RTPC XE
- Métrologie : métrologie en ligne et capacités avancées de contrôle des processus
- Contrôle en temps réel : technologie brevetée Window-in-Pad pour un contrôle précis du polissage en temps réel
- Technologie de détection : spectroscopie à large bande ou détection par courants de Foucault à effet Hall
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